2025-12-23
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集成电路制造对工艺流体的洁净度要求已达到前所未有的严格程度。湿电子化学品中的颗粒物和金属离子污染是导致芯片缺陷、降低良率的关键因素之一。PFA全氟折叠滤芯,以其全氟化的材料本质和独特的折叠构造,成为半导体工厂超纯化学品输送系统中不可或缺的核心过滤元件,为先进制程节点的稳定量产提供关键保障。
PFA材料具有已知塑料中最卓越的化学稳定性,能够耐受所有湿法工艺中使用的强酸、强碱、氧化剂及有机溶剂的长期侵蚀,且自身几乎不释放任何杂质。通过精密的热熔焊接工艺制成的PFA全氟折叠滤芯,实现了滤芯所有流体接触部分(包括滤膜、支撑层、中心管及端盖)的100%全氟化,彻底杜绝了由不同材质拼接可能带来的溶出风险。
其深层梯度过滤结构,提供了极高的污物容纳能力和稳定的高通量,能在低压差下高效拦截亚微米级颗粒,并有效控制可提取金属离子水平,确保过滤后化学品满足SEMI G5及以上等级标准。
在具体的芯片制造工艺中,该滤芯被广泛应用于化学品分配系统(CDS)和使用点(POU)。例如,在晶圆清洗环节,用于过滤SC1、SC2、DHF等关键清洗液,去除其中的颗粒和胶体硅,防止其在纳米级电路结构上造成缺陷。在光刻工艺中,用于光刻胶、边缘珠去除剂(EBR)及显影液的终端过滤,保障图形转移的精确性。此外,在CMP后清洗、蚀刻后清洗等工序中,也依赖其提供持续稳定的高纯度流体。
对于半导体制造商而言,选择经过严格验证的PFA全氟折叠滤芯,是构建可靠的高纯流体管理体系的基础。其性能的长期稳定性、可预测的更换周期以及完整的验证支持文件(如颗粒挑战测试、离子析出报告),直接关系到生产线的综合运行成本与产品竞争力。